大家好，我是小青，我来为大家解答以上问题。热式质量流量计原理，质量流量计原理很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！

1、小流量气体质量流量计是自主研制的MEMS流量

2、 传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气

3、 体的质量流量。

4、 该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成

5、 稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，

6、 形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将

7、 测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理

8、 并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不

9、 同，因而能测量气体的质量流量或总流量

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