超声波在液体中传播的音波压强达到一定的气压时，峰值就可达到真空或负压，产生的力将液体分子拉裂成接近真空的空洞，空洞破裂时会产生的强烈冲击将物体表面的污物撞击下来。这种由无数细小的空化气泡破裂而产生的冲击波现象称为“空化”现象。超声波的功率密度越高，“空化”效果越强，速度越快，清洗效果越好。但是采用长时间的高功率密度清洗精密度和表面光洁度高的物体，会对物体表面产生“空化”腐蚀。受当前环境的影响超声波空化作用是指存在于液体中的微气核空化泡在声波的作用下振动，当声压达到一定值时发生的生长和崩溃的动力学过程。超声波作用于液体时可产生大量小气泡 。一个原因是液体内局部出现拉应力而形成负压，压强的降低使原来溶于液体的气体过饱和，而从液体逸出，成为小气泡。另一原因是强大的拉应力把液体“撕开”成一空洞，称为空化。水力空化是指在液体经过的管道某处人为制造低压强、高流速的状态，当液体压强小于饱和蒸汽压时，液体中的气泡就会不断膨胀，体积变大。而随着流体运动，气泡到达高压强、低流速区域之后，气泡就会塌缩、爆裂。